现代快报讯（通讯员 惠开 记者 朱鲸润）近日，无锡市工业和信息化局公示了《2025年苏锡常首台（套）重大装备名单》，无锡惠山经开区有2家企业上榜。目前，惠山经开区共有19家企业的重大装备入选江苏省、苏锡常和无锡市首台（套）名单。

江苏集萃华科智能装备科技有限公司成立于2017年7月，是由江苏省产业技术研究院、华中科技大学无锡研究院以及丁汉院士团队共同出资成立的混合所有制新型科创企业。2020年获批运营建设国家数字化设计与制造中心江苏中心、江苏省数字化设计与制造创新中心。2025年先后获得江苏瞪羚企业称号、国家级专精特新“小巨人”企业称号。“晶圆综合测量机”是由江苏集萃华科智能装备科技有限公司自主研发的面向集成电路先进封装晶圆表面质量控制的检测装备。技术团队突破了晶圆测量机在机械架构、运动控制、光学系统及数据分析等环节关键技术瓶颈，解决了带膜测厚的样品测量的重复性较差、大翘曲样品翘曲度测量测头容易离焦、3D形貌小特征无法重复测量等多类问题，完全掌握测量机整机设计及组装调试能力。同时，基于完全自主知识产权的测量方法与测评软件可以根据客户功能需求进行定制化开发，其在多项晶圆测量项目上功能优于国际同等水平装备。目前，晶圆综合测量机已成功应用于多家集成电路制造企业，填补了国内空白，达到国内领先水平。

无锡黎曼机器人科技有限公司是华中科技大学无锡研究院孵化的机器人公司，成立于2016年3月，为国家专精特新“小巨人”企业。“液流电池电堆自动化装配成套设备”是公司面向国内新型储能领域液流电池自动化高质量生产的市场需求，进行针对性研发设计的，该产品创造性改进了机器人绝对路径补偿技术，构建了机器人堆叠路径误差模型，机器人堆叠精度控制在±0.2mm，生产效率提升10倍以上，助力主要客户完成全球首个GWh级液流电池工厂建设，具备了良好的技术创新性，产品自主可控程度高，掌握装备生产的核心技术和关键工艺，在设计与制造技术等方面具有标志性突破或根本性改进，核心技术及关键部件安全可控，申请首台套能够提升公司产品的价值，能够更好地提升产品的销售市场，增强无锡智能制造的影响力。

下阶段，惠山经开区将以首台（套）重大装备研发和示范应用为突破口，鼓励更多企业加大创新研发投入，对制约产业发展的薄弱环节开展关键核心技术攻关，加快实施重大技术装备攻关工程，推动首台（套）研发和应用一体化协同发展，为惠山经开区发展新质生产力积蓄澎湃动能。